1. Дефиниција на системот за масовно гас:
Складирање и контрола на притисокот на инертни гасови Видови гасови: Типични инертни гасови (азот, аргон, компримиран воздух, итн.)
Големина на цевковод: од 1/4 (цевковод за следење) до главен цевковод од 12 инчи
Главните производи на системот се: мембрански вентил/вентил со мев/топчест вентил, конектор со висока чистота (ВЦР, форма за заварување), конектор за обрачи, вентил за регулирање притисок, манометар итн.
Во моментов, новиот систем вклучува и рефус специјален систем за гас, кој користи фиксни плински боци или цистерни за складирање и транспорт.
2. Дефиниција на системот за прочистување:
Отстранување на нечистотии од рефус гасови за гасоводи со висока чистота
3. Кабинети за гас Дефиниција:
Обезбедете контрола на притисокот и следење на протокот за специјални извори на гас (токсични, запаливи, реактивни, корозивни гасови) и имаат способност да ги заменат цилиндрите за гас.
Локација: Се наоѓа на подот на под-фаб или на долниот кат за складирање на специјални гасови Извор: NF3, SF6, WF6 итн.
Големина на цевковод: Внатрешен гасовод, генерално 1/4 инчи за процесен цевковод, 1/4-3/8 инчи главно за цевковод за прочистување на азот со висока чистота.
Главни производи: Мембрански вентили со висока чистота, обратни вентили, мерачи на притисок, мерачи на притисок, конектори со висока чистота (VCR, форма за заварување) Овие гасни кабинети во основа содржат можности за автоматско префрлување на цилиндрите за да се обезбеди континуирано снабдување со гас и сигурна замена на цилиндрите.
4. Дефиниција за дистрибуција:
Поврзување на изворот на гас со калем за собирање гас
Големина на линија: Во фабриката за чипови, големината на гасоводот за дистрибуција на најголемиот дел генерално се движи од 1/2 инчи до 2 инчи.
Форма на поврзување: Специјалните гасоводи обично се поврзани со заварување, без механичка врска или други подвижни делови, главно поради тоа што врската за заварување има силна доверливост на запечатување.
Во фабрика за чипови, има стотици километри цевки поврзани за пренос на гас, кои се во основа долги околу 20 стапки и заварени заедно. Некои свиоци на цевки и цевчести врски за заварување се исто така многу чести.
5. Мултифункционална вентилска кутија (Кутија со вентили, VMB) Дефиниција:
Тоа е да се дистрибуираат специјални гасови од изворот на гас до различни краеви на опремата.
Големина на внатрешен цевковод: процесен цевковод од 1/4 инчи и цевковод за прочистување од 1/4 - 3/8 инчи. Системот може да користи компјутерска контрола за да бара активирани вентили или ситуации со пониска цена со рачни вентили.
Системски производи: мембрански вентили со висока чистота / вентили со мембрана, обратни вентили, спојници со висока чистота (VCR, форма за микрозаварување), вентили за регулирање притисок, мерачи на притисок и мерачи на притисок, итн. За дистрибуција на некои инертни гасови, панелот за колектор на вентили - Главно се користи VMP (мултифункционален вентилски диск), кој има отворена површина на гасен диск и не бара затворен простор дизајн и дополнително прочистување со азот.
6. Плоча/кутија на секундарен вентил (Панел за поврзување со алатки) Дефиниција:
Поврзете го гасот што го бара полупроводничката опрема од изворот на гас до крајот на опремата и обезбедете соодветна регулација на притисокот. Овој панел е систем за контрола на гас кој е поблиску до крајот на опремата отколку VMB (мултифункционална вентилска кутија).
Големина на гасоводот: 1/4 - 3/8 инчи
Големина на течен цевковод: 1/2 - 1 инч
Големина на цевководот за испуштање: 1/2 - 1 инч
Главни производи: мембрански вентил/вентил со мембрана, еднонасочен вентил, вентил за регулирање на притисокот, манометар, манометар, спој со висока чистота (VCR, микро-заварување), спој на обрач, топчест вентил, црево итн.
Време на објавување: 22-11-2024 година