1. Дефиниција на систем за гас на големо:
Складирање и контрола на притисокот на инертни гасови Видови гасови: Типични инертни гасови (азот, аргон, компримиран воздух итн.)
Големина на цевковод: Од 1/4 (цевковод за мониторинг) до главен цевковод од 12 инчи
Главните производи на системот се: мембрански вентил/меховски вентил/топчест вентил, конектор за висока чистота (видеорекордер, заварувачка форма), обрачен конектор, вентил за регулирање на притисок, манометар итн.
Моментално, новиот систем вклучува и систем за специјален гас за насип, кој користи фиксни цилиндри за гас или цистерни за складирање и транспорт.
2. Дефиниција на систем за прочистување:
Отстранување на нечистотии од гасови во големи количини за гасоводи со висока чистота
3. Гасни кабинети Дефиниција:
Обезбедете контрола на притисокот и следење на протокот за специјални извори на гас (токсични, запаливи, реактивни, корозивни гасови) и имате можност за замена на цилиндри за гас.
Локација: Сместено на подот од фабриката или на долниот кат за складирање на специјални гасови. Извор: NF3, SF6, WF6, итн.
Големина на цевководот: Внатрешен гасовод, генерално 1/4 инч за процесен цевковод, 1/4-3/8 инчи главно за цевковод за чистење со азот со висока чистота.
Главни производи: Мембрански вентили со висока чистота, неповратни вентили, манометри, манометри, конектори со висока чистота (видеорекордер, заварувачка форма). Овие гасни кабинети во основа содржат можности за автоматско префрлување на цилиндрите за да се обезбеди континуирано снабдување со гас и безбедна замена на цилиндрите.
4. Дефиниција на дистрибуција:
Поврзување на изворот на гас со серпентина за собирање гас
Големина на линијата: Во фабриката за чипови, големината на цевководот за дистрибуција на гас на големо генерално се движи од 1/2 инч до 2 инчи.
Форма на поврзување: Специјалните гасоводи генерално се поврзуваат со заварување, без никакво механичко поврзување или други подвижни делови, главно затоа што заварувачкото поврзување има силна сигурност на запечатување.
Во фабрика за чипови, има стотици километри цевки поврзани за пренос на гас, кои се во основа долги околу 20 стапки и се заварени заедно. Некои свиоци на цевките и цевчести заварувачки врски се исто така многу чести.
5. Мултифункционална кутија со вентили (кутија со вентилски колектор, VMB) Дефиниција:
Станува збор за дистрибуција на специјални гасови од изворот на гас до различни краеви на опремата.
Внатрешна големина на цевководот: процесен цевковод од 1/4 инчи и цевковод за чистење од 1/4 - 3/8 инчи. Системот може да користи компјутерска контрола за да бара активирани вентили или ситуации со пониски трошоци со рачни вентили.
Системски производи: дијафрагмални вентили/мехови со висока чистота, неповратни вентили, споеви со висока чистота (VCR, микро-заварувачка форма), вентили за регулирање на притисок, манометри и манометри, итн. За дистрибуција на некои инертни гасови, главно се користи панел за развод на вентили - VMP (мултифункционален вентилски диск), кој има отворена површина на гасен диск и не бара дизајн со затворен простор и дополнително чистење со азот.
6. Плоча/кутија на секундарниот вентил (Панел за поврзување со алатки) Дефиниција:
Поврзете го гасот потребен за полупроводничката опрема од изворот на гас до крајот на опремата и обезбедете соодветна регулација на притисокот. Овој панел е систем за контрола на гас кој е поблиску до крајот на опремата отколку VMB (мултифункционална кутија со вентили).
Големина на гасовод: 1/4 - 3/8 инчи
Големина на цевковод за течност: 1/2 - 1 инч
Големина на цевководот за испуштање: 1/2 - 1 инч
Главни производи: мембрански вентил/мех вентил, еднонасочен вентил, вентил за регулирање на притисок, манометар, манометар, спој со висока чистота (видеорекордер, микрозаварување), спој со обрач, топчест вентил, црево итн.
Време на објавување: 22 ноември 2024 година