Значењето на гасоводите со висока чистота за полупроводниците

As полупроводники микроелектронските технологии се развиваат кон повисоки перформанси и поголема интеграција, се поставуваат повисоки барања за чистотата на електронските специјални гасови. Технологијата за гасоводи со висока чистота е важен дел од системот за снабдување со гас со висока чистота. Тоа е клучна технологија за испорака на гасови со висока чистота кои ги исполнуваат барањата до точките за употреба на гас, а сепак одржуваат квалификуван квалитет.

Технологијата на цевки со висока чистота вклучува правилен дизајн на системот, избор на фитинзи за цевки и помошни материјали, изградба и инсталација и тестирање.

01 Општ концепт на цевководи за пренос на гас

Сите гасови со висока чистота и чистота треба да се транспортираат до терминалната гасна точка преку цевководи. За да се исполнат барањата за квалитет на процесот за гас, кога индексот на извоз на гас е сигурен, попотребно е да се обрне внимание на изборот на материјал и квалитетот на конструкцијата на цевководниот систем. Покрај точноста на опремата за производство или прочистување на гас, таа во голема мера е под влијание на многу фактори на цевководниот систем. Затоа, изборот на цевки треба да се придржува до релевантните принципи на индустријата за прочистување и да се означи материјалот на цевките на цртежите.

02Важноста на цевководи со висока чистота во транспортот на гас

Значењето на цевководи со висока чистота во транспортот на гас со висока чистота За време на процесот на топење на не'рѓосувачки челик, секој тон може да апсорбира околу 200 g гас. Откако не'рѓосувачкиот челик ќе се преработи, не само што разни загадувачи се залепуваат на неговата површина, туку и одредена количина гас се апсорбира во неговата метална решетка. Кога низ цевководот поминува проток на воздух, делот од гасот апсорбиран од металот повторно ќе влезе во протокот на воздух и ќе го загади чистиот гас.

Кога протокот на воздух во цевката е дисконтинуиран, цевката формира адсорпција на притисок врз гасот што минува низ него. Кога протокот на воздух ќе престане да минува, гасот адсорбиран од цевката формира анализа за намалување на притисокот, а анализираниот гас исто така влегува во чистиот гас во цевката како нечистотија.

Во исто време, циклусот на адсорпција и анализа ќе предизвика металот на внатрешната површина на цевката да произведе одредена количина на прав. Оваа метална честичка прашина, исто така, го загадува чистиот гас во цевката. Оваа карактеристика на цевката е многу важна. За да се обезбеди чистотата на транспортираниот гас, потребно е не само внатрешната површина на цевката да има исклучително висока мазност, туку и висока отпорност на абење.

Кога гасот има силни корозивни својства, за цевководите мора да се користат цевки од не'рѓосувачки челик отпорни на корозија. Во спротивно, на внатрешната површина на цевката ќе се појават дамки од корозија поради корозија. Во тешки случаи, големи парчиња метал ќе се излупат или дури ќе перфорираат, со што ќе го контаминираат чистиот гас што се транспортира.

03 Материјал на цевката

Изборот на материјал за цевката треба да се направи според потребите на употреба. Квалитетот на цевката генерално се мери според грубоста на внатрешната површина на цевката. Колку е помала грубоста, толку е помала веројатноста да носи честички. Генерално се дели на три вида:

Еден еЦевка од EP класа 316L, кој е електролитички полиран (електро-полирање). Отпорен е на корозија и има мала површинска грубост. Rmax (максимална висина од врв до долина) е околу 0,3 μm или помалку. Има најголема рамност и не е лесно да се формираат микро-вртложни струи. Отстранете ги контаминираните честички. Реакцискиот гас што се користи во процесот треба да се спроведува со цевки на ова ниво.

Еден еБА степен 316Lцевка, која е третирана со Bright Anneal и често се користи за гасови кои се во контакт со чипот, но не учествуваат во реакцијата на процесот, како што се GN2 и CDA. Едната е AP цевка (жарење и picking), која не е специјално третирана и генерално се користи за двојни сета надворешни цевки кои не се користат како цевки за снабдување со гас.

04 Изградба на цевковод

Обработката на отворот на цевката е една од клучните точки на оваа технологија на градење. Сечењето и префабрикувањето на цевководот се изведуваат во чиста средина, а во исто време се осигурува дека нема штетни траги или оштетувања на површината на цевководот пред сечењето. Подготовките за испирање со азот во цевководот треба да се направат пред отворањето на цевководот. Во принцип, заварувањето се користи за поврзување на цевководи за пренос и дистрибуција на гас со висока чистота и висока чистота со голем проток, но директно заварување не е дозволено. Треба да се користат спојки на обвивката, а материјалот на цевката што се користи е потребен да нема промена во структурата за време на заварувањето. Ако се заварува материјал со превисока содржина на јаглерод, пропустливоста на воздухот на делот за заварување ќе предизвика гасот внатре и надвор од цевката да навлегуваат еден во друг, уништувајќи ја чистотата, сувоста и чистотата на преносниот гас, што ќе доведе до сериозни последици и ќе влијае на квалитетот на производството.

Накратко, за цевководи за пренос на гас со висока чистота и специјални гасови, мора да се користи специјално третирана цевка од не'рѓосувачки челик со висока чистота, што го прави системот на цевководи со висока чистота (вклучувајќи цевководи, фитинзи за цевки, вентили, VMB, VMP) да зазема витална мисија во дистрибуцијата на гас со висока чистота.