As полупроводники микроелектронските технологии се развиваат кон повисоки перформанси и поголема интеграција, повисоки барања се поставени за чистотата на електронските специјални гасови. Технологијата за цевки за гас со висока чистота е важен дел од системот за снабдување со гас со висока чистота. Тоа е клучната технологија за испорака на гасови со висока чистота што ги задоволува барањата до точките за употреба на гас, а сепак одржува квалификуван квалитет.
Технологијата на цевки со висока чистота вклучува правилен дизајн на системот, избор на фитинзи за цевки и помошни материјали, изградба и монтажа и тестирање.
01Општ концепт на цевководи за пренос на гас
Сите гасови со висока чистота и висока чистота треба да се транспортираат до крајната гасна точка преку цевководи. За да се исполнат барањата за квалитет на процесот за гас, кога индексот за извоз на гас е сигурен, попотребно е да се обрне внимание на изборот на материјалот и квалитетот на изградбата на цевководниот систем. Покрај точноста на опремата за производство или прочистување на гас, на неа во голема мера влијаат многу фактори на цевководниот систем. Затоа, изборот на цевки треба да се придржува до релевантните принципи на индустријата за прочистување и да го означи материјалот на цевките во цртежите.
02 Значењето на цевководи со висока чистота во транспортот на гас
Значењето на цевководите со висока чистота во транспортот на гас со висока чистота За време на процесот на топење на нерѓосувачки челик, секој тон може да апсорбира околу 200 g гас. Откако ќе се обработи нерѓосувачкиот челик, не само што се заглавуваат разни загадувачи на неговата површина, туку и одредена количина гас се апсорбира во неговата метална решетка. Кога има проток на воздух што минува низ цевководот, делот од гасот што го апсорбира металот повторно ќе влезе во протокот на воздух и ќе го загади чистиот гас.
Кога протокот на воздух во цевката е прекинат, цевката формира адсорпција на притисок на гасот што минува низ него. Кога протокот на воздух ќе престане да поминува, гасот што се адсорбира од цевката формира анализа за намалување на притисокот, а анализираниот гас исто така влегува во чистиот гас во цевката како нечистотија.
Во исто време, циклусот на адсорпција и анализа ќе предизвика металот на внатрешната површина на цевката да произведе одредена количина прашок. Оваа метална честичка прашина го загадува и чистиот гас во цевката. Оваа карактеристика на цевката е многу важна. За да се обезбеди чистота на транспортираниот гас, не само што се бара внатрешната површина на цевката да има исклучително висока мазност, туку и да има висока отпорност на абење.
Кога гасот има силни корозивни својства, за цевководи мора да се користат цевки од нерѓосувачки челик отпорни на корозија. Во спротивно, ќе се појават точки на корозија на внатрешната површина на цевката поради корозија. Во тешки случаи, големи парчиња метал ќе се олупат, па дури и ќе продупчат, а со тоа ќе го контаминираат чистиот гас што се транспортира.
03 Материјал за цевки
Изборот на материјалот на цевката треба да се избере според потребите на употреба. Квалитетот на цевката генерално се мери според грубоста на внатрешната површина на цевката. Колку е помала грубоста, толку е помала веројатноста да носи честички. Генерално поделени во три вида:
Еден еЦевка од EP одделение 316L, кој е електролитски полиран (електро-полски). Отпорен е на корозија и има мала грубост на површината. Rmax (максимална висина од врвот до долината) е околу 0,3μm или помалку. Има најголема плошност и не е лесно да се формираат микро-витлови струи. Отстранете ги контаминираните честички. Реакциониот гас што се користи во процесот треба да биде цевководен на ова ниво.
Едниот е аБА одделение 316Lцевка, која е обработена од Bright Anneal и често се користи за гасови кои се во контакт со чипот, но не учествуваат во реакцијата на процесот, како што се GN2 и CDA. Една од нив е AP цевка (Anealing & Picking), која не е специјално третирана и генерално се користи за двојни комплети надворешни цевки кои не се користат како линии за снабдување со гас.
04 Изградба на цевковод
Обработката на устата на цевката е една од клучните точки на оваа градежна технологија. Сечењето и префабрикувањето на цевководот се изведуваат во чиста средина, а во исто време се обезбедува да нема штетни траги или оштетувања на површината на цевководот пред сечењето. Подготовките за испирање со азот во цевководот треба да се направат пред да се отвори цевководот. Во принцип, заварувањето се користи за поврзување на цевководи за пренос и дистрибуција на гас со висока чистота и висока чистота со голем проток, но директно заварување не е дозволено. Треба да се користат спојници на куќиштето, а материјалот на цевката што се користи треба да нема промена во структурата за време на заварувањето. Доколку се завари материјалот со превисока содржина на јаглерод, пропустливоста на воздухот на делот за заварување ќе предизвика гасот внатре и надвор од цевката да навлезе еден во друг, уништувајќи ја чистотата, сувоста и чистотата на транспортниот гас, што ќе доведе до сериозни последици. и влијае на квалитетот на производството.
Накратко, за гасоводи со висока чистота и специјални цевководи за пренос на гас, мора да се користи специјално обработена цевка од нерѓосувачки челик со висока чистота, што го прави системот на цевководи со висока чистота (вклучувајќи цевководи, цевководи, вентили, VMB, VMP) зафаќа витална мисија во дистрибуцијата на гас со висока чистота.
Време на објавување: 26-11-2024 година